半導体製造装置とホストとの間の通信にはSEMI Standardで標準化されているHSMS-SS/SECS-IIというプロトコルが使われるのが一般的なのだが、このデバッグツール類はお高いものが多い。Wiresharkにも専用のdissectorはついてないので、自分でプラグインを書くか、サードパーティのdissector pluginを探すしかない。dissectorはDLLまたはLuaスクリプトとして追加できるらしい。

Wireshark Developer’s Guide

How can I add a custom protocol analyzer to wireshark? - StackOverflow

問題児たちがwiresharkのdissectorをLuaで書くそうですよ？ - 迷い庭

というか、ここに古いpluginのソースコードが置いてあった。
Bug 8879 - HSMS protocol dissector plugin bug
古くて動作はしないけど、参考にはなりそう。ただ、今はLuaで書いたほうがいいんだろうか。